晶圆隐切机应用定制化硅内切割专用激光器，可兼顾透过率和聚焦质量。同时采用高速精密的气浮平台和全闭环数控系统、高分辨率的CCD影像定位技术，支持光束整形LBC控制，支持多焦点任意功率控制，实现高质量晶圆隐切，产品具有自主知识产权。
