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LLO设备
LLO设备应用先进的光学原理及激光剥离技术,针对不同用户充分准备准分子、DPSS两种激光器方案,以应对多种产品的应用场景,可以高效率实现激光选择性剥离,并且剥离后良率极高。
产品优势
支持全自动上下料,提高工作效率
1
高量产效率,高稼动率
2
支持不同激光器方案
3
兼容4、6、8寸晶圆
4